روش های زیادی برای تولید وجود داردپودر سیلیکون فلزیبشر موارد زیر چندین روش اصلی تولید است:
روش کاهش سیلیس:
اصل: ماده کاهش دهنده سیلیس و کربن در یک کوره با درجه حرارت بالا کاهش می یابد تا سیلیکون فلزی تولید شود.
فرآیند: سیلیکون فلزی تولید شده برای به دست آوردن پودر سیلیکون فلزی با اندازه ذرات مختلف خنک ، خرد شده و الک شده است.
رسوب بخار شیمیایی (CVD):
اصل: Silane تحت شرایط رقت هیدروژن بالا تحت عمل انرژی خارجی مانند گرما ، مایکروویو ، لیزر ، پلاسما و غیره به سیلیکون و هیدروژن تجزیه می شود و به سرعت در یک محیط فاز گاز برای تهیه پودر سیلیکون نانو متراکم می شود.
کاربرد: پودر سیلیکون فلزی تهیه شده توسط این روش دارای خلوص بالا و اندازه ذرات یکنواخت است که برای کاربردهای الکترونیکی با دقت بالا مناسب است.
روش پلاسما:
اصل: از درجه حرارت بالا و خصوصیات انرژی بالا پلاسما برای تجزیه مواد منبع سیلیکون برای تولید پودر سیلیکون فلزی استفاده می شود.
ویژگی ها: پودر سیلیکون فلزی تهیه شده توسط این روش دارای خلوص بالا و فعالیت بالایی است.
فرآیند: پس از پراکندگی مقدار مشخصی از پودر درشت ، با گاز بی اثر به قوس پلاسما ارسال می شود و فوراً گرم می شود ، به طوری که پودر سیلیکون درشت فوراً در بخار سیلیکون در دمای نسبتاً بالا تبخیر می شود. بخار سیلیکون سپس وارد منطقه خنک کننده می شود و متراکم می شود تا به پودر سیلیکون فلزی در سطح نانو تبدیل شود.
جزئیات محصول پودر فلزی سیلیکون نمایش تصویر
