مقدمه ای بر کاربرد و اصول اهداف کندوپاشی

80٪ تنگستن Sputtering تولید هدف
 

برنامه هدف sputtering:

پدیده ای که در آن ذرات باردار (مانند یون های آرگون) یک سطح جامد را بمباران می کنند و باعث می شوند که ذرات مختلف روی سطح مانند اتم ها، مولکول ها یا خوشه ها از سطح جسم فرار کنند، "sputtering" نامیده می شود. در پوشش کندوپاش مگنترون، یون‌های مثبت تولید شده توسط یونیزاسیون گاز آرگون معمولاً برای بمباران جامد (هدف) استفاده می‌شوند و اتم‌های خنثی پراکنده شده روی زیرلایه (قطعه کار) قرار می‌گیرند تا یک لایه فیلم تشکیل دهند. پوشش کندوپاش مگنترون دارای دو ویژگی اصلی است: "دمای پایین" و "سریع".

80٪ تنگستن کندوپاش هدف factpry

اصل کندوپاش مگنترون:

یک میدان مغناطیسی متعامد و میدان الکتریکی بین هدف پراکنده شده (کاتد) و آند اضافه می شود و گاز بی اثر مورد نیاز (معمولا گاز Ar) در محفظه خلاء بالا پر می شود. آهنربای دائمی یک زاویه 250 تا 350 درجه بر روی سطح ماده مورد نظر تشکیل می دهد. میدان مغناطیسی گاوسی و میدان الکتریکی با ولتاژ بالا یک میدان الکترومغناطیسی متعامد را تشکیل می‌دهند.

تحت عمل میدان الکتریکی، گاز Ar به یون ها و الکترون های مثبت یونیزه می شود. یک ولتاژ بالا منفی معین به هدف اعمال می شود. الکترون های ساطع شده از هدف تحت تأثیر میدان مغناطیسی قرار می گیرند و احتمال یونیزاسیون گاز فعال افزایش می یابد. یک پلاسمای با چگالی بالا در نزدیکی کاتد تشکیل می شود. یون های Ar تحت تأثیر نیروی لورنتس به سمت سطح هدف شتاب می گیرند و سطح هدف را با سرعت بسیار بالایی بمباران می کنند و باعث می شوند اتم های پراکنده شده روی هدف از اصل تبدیل حرکت پیروی کنند. انرژی جنبشی بالا از سطح هدف خارج می شود و به سمت بستر پرواز می کند تا یک فیلم رسوب کند.

99.95% اهداف کندوپاش تنگستن

کندوپاش مگنترونی به طور کلی به دو نوع تقسیم می شود: کندوپاش DC و کندوپاش فرکانس رادیویی. اصل تجهیزات کندوپاش DC ساده است و سرعت آن در هنگام کندوپاش فلز نیز سریع است. کندوپاش فرکانس رادیویی طیف وسیع تری از کاربردها را دارد. علاوه بر کندوپاش مواد رسانا، می تواند مواد غیر رسانا را نیز کندوپاش کند. همچنین می تواند کندوپاش واکنشی را برای تهیه مواد ترکیبی مانند اکسیدها، نیتریدها و کاربیدها انجام دهد. اگر فرکانس رادیویی افزایش یابد، تبدیل به کندوپاش پلاسما مایکروویو می شود. در حال حاضر، رزونانس سیکلوترون الکترون (ECR) از نوع کندوپاش پلاسما مایکروویو معمولا استفاده می شود.